モールディングとは?――半導体チップを樹脂で守るだけではない
EMC封止、Transfer/Compression Molding、反り、収縮、Void、Wire Sweep、Fan-Out再構成との関係を解説する。
まず結論
Moldingは、DieやWire等をEpoxy Molding Compound(EMC)などの樹脂で封止し、機械・湿気・汚染から保護するとともにPackage構造そのものを形成する工程です。
Fan-OutではMolding材が再構成Wafer/Panelの大部分を占めるため、単なる保護材ではありません。
Transfer Molding
加熱したMoldへEMCを流し込み、多数Packageを一括封止する成熟方式です。
Compression Molding
材料をMold内で圧縮し、Wafer/Panel Levelの封止などへ利用されます。
Curingと収縮
Resinは硬化時・冷却時に収縮し、SiやSubstrateとのCTE差もあります。その結果WarpやInternal Stressが発生します。
Fan-Outで重要な理由
Fan-OutではDieをCarrierへ配置してMoldingし、その後RDLを形成します。Molding収縮でDie位置がずれるDie Shiftが起きると、後のLithography Alignmentへ直接影響します。
不良モード
- Void
- Delamination
- Crack
- Wire Sweep
- Resin Bleed
- Warp
- Die Shift
- Incomplete Fill
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